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激光诱导击穿光谱LIBS系统
激光显微加工系统是针对激光微纳加工应用而开发的，系统通过扫描物镜和显微物镜的有机结合，可实现小范围内高精密的扫描加工，最小线宽线距可达亚微米级。
本系统适用于超精细打标、微结构刻蚀、微孔加工、显微捕获切割等，可满足各类激光微纳加工实验需求。
